超高真空がひらく世界
チョウコウシンクウガヒラクセカイ
超高真空技術がつくり出す先端技術の広がり超ＬＳＩをはじめとして超精密・超純度などを追求する今日の最先端技術にとって欠かすことのできない超高真空技術の原理から応用，可能性の広がりまでを紹介．
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書誌情報
紙版
発売日
1985年06月18日
ISBN
9784061326095
判型
新書
価格
定価：641円（本体583円）
通巻番号
609
ページ数
39ページ
シリーズ
ブルーバックス