新版　Ｘ線反射率法入門

日本初のＸ線反射率法に関する専門書が９年ぶりの増補改訂。原理、実験方法、データ解析法、多彩な材料への応用事例を網羅。なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの視点からていねいに解説。この１冊で機能薄膜の構造解析が自由自在に。


【本書の特徴】
・表面・界面におけるＸ線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明した。
・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説した。
・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説した。
・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介し、中性子の利用についても取り上げた。

Ⓒ桜井健次

目次

1　X線反射率の基礎
1.1　光とX線
1.2　X線反射率法の特徴
1.3　膜密度はどのように決まるか
1.4　膜厚はどのように決まるか
1.5　膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
1.6　いろいろな反射率計算法
1.7　結晶からの反射率
1.8　共鳴磁気反射率
1.9　コヒーレンスとコヒーレント回折
1.10　実際の測定とデータ解析の基礎
2　X線反射率の測定装置と測定方法
2.1　X線反射率測定装置に必要な条件
2.2　X線反射率測定装置の実際
2.3　反射率の測定方法
2.4　散漫散乱測定
2.5　平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
3　X線反射率のデータ解析法
3.1　はじめに
3.2　X線反射率のデータ解析の前に
3.3　最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
3.4　単層膜の解析と精度の評価
3.5　多層膜の解析と精度の評価
3.6　多波長X線反射率法
3.7　2波長法による多層膜構造解析
3.8　3波長法による多層膜構造解析
3.9　反射率解析の今後
3.10　まとめ
4　X線反射率のデータ解析の注意事項
4.1　はじめに
4.2　理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
4.3　個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
4.4　最小二乗フィッティング計算に由来する問題
4.5　構造モデルに過度に依存しない解析の試み
4.6　おわりに
5　微小領域分析およびイメージングへの展開
5.1　顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
5.2　放射光ナノビームによる微小領域分析
5.3　高エネルギー白色X線による微小領域分析
5.4　画像再構成法によるイメージング
5.5　微小領域分析・イメージングの今後
6　時々刻々変化する系の追跡への展開
6.1　はじめに
6.2　多チャンネルX線反射率法（Naudonの方法）
6.3　白色X線反射スペクトル法
6.4　従来の角度走査型の装置によるその場計測
6.5　時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
7　X線反射率法の応用
7.1　半導体薄膜
7.2　ハードディスク
7.3　X線光学用多層膜
7.4　電気化学界面などの固液界面
7.5　有機・高分子薄膜
7.6　液体の表面，界面，単分子膜
8　X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
8.1　微小角入射蛍光X線分析法
8.2　微小角入射X線回折法
8.3　共鳴軟X線スペクトル法
8.4　GISAXS法
8.5　X線光子相関分光法
9　中性子の利用
9.1　はじめに
9.2　中性子反射光学の基礎
9.3　中性子反射率法の特徴
9.4　中性子反射率法の適用例
9.5　X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
おわりに　X線反射率の100年
付録1　C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
付録2　Pythonによる反射率計算プログラム

書誌情報

紙版

• 発売日: 2018年07月01日
• ISBN: 9784061532960
• 判型: A5
• 価格: 定価：6,930円（本体6,300円）
• ページ数: 384ページ

電子版

• 発売日: 2018年11月02日
• JDCN: 06A0000000000072327O

著者紹介

著・編： 桜井　健次（サクライ　ケンジ）

物質・材料研究機構　先端材料解析研究拠点　上席研究員