固体表面分析２

固体表面分析２

コタイヒョウメンブンセキ

進歩の著しい手法を入門者向けに親切に解説２巻は、これから表面分析に取り組む人のために、総合的な表面研究・分析例を豊富に取りあげた。ＦＴ－ＩＲ、ＳＴＭ、ＡＦＭ、ＲＢＳおよびケ－ススタディ。


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    • 目次

    6　フーリエ変換赤外分光法
    　　1．フーリエ変換赤外分光法の基礎
    　　2．IR透過法
    　　3．高感度反射法（IRAS）
    　　4．全反射赤外吸収（ATR）法
    　　5．顕微赤外分光法
    　　6．参考文献
    7　走査トンネル顕微鏡
    　　1．STMの基礎
    　　2．STM装置
    　　3．STMの観察例
    8　原子間力顕微鏡
    　　1．原子間力顕微鏡の基礎
    　　2．AFMに基づく新しい測定方法
    　　3．AFMによる接触測定
    　　4．AFMによる非接触測定（静電気力の測定）
    9　ラザフォード後方散乱法
    　　1．はじめに
    　　2．RBS法の原理
    　　3．RBS装置
    　　4．RBS／チャネリング法による分析
    10　ケーススタディ
    　　1．Si酸化膜の成長のキャラクタリゼーション
    　　2．エピタキシャル成長過程
    　　3．アルミニウム選択CVD反応のin situ観察
    　　4．触媒表面のキャラクタリゼーション
    　　5．ダイヤモンドの表面吸着構造―拡散反射赤外分光法による気相成長過程解明をめ　　　ざして―
    　　6．単結晶表面上の反応解析
    　　7．深さ方向の分析―InP、GaAs系多層膜の深さ方向分析―
    　　8．面分析―鉄鋼材料の破面分析―
    　　9．有機物分析―チャージアップ補正の例―
    　　10．高分子材料の表面・断面分析
    　　11．半導体の不純物分析―AESとSIMSの比較―

    書誌情報

    紙版

    発売日

    1995年04月14日

    ISBN

    9784061533660

    判型

    A5

    価格

    定価：6,942円（本体6,311円）

    ページ数

    324ページ

    著者紹介