薄膜工学ハンドブック

薄膜に関わる物理と工学を網羅した実用書。
原子層成長や選択成長など薄膜材料開発の最新知見も取り入れ、物性、成長の基礎理論から技術の実際、さらにシミュレーションまで、豊富なデータで幅広く解説した

書誌情報

紙版

• 発売日: 1998年10月07日
• ISBN: 9784061539532
• 判型: A5
• 価格: 定価：19,800円（本体18,000円）
• ページ数: 528ページ

著者紹介

編： 真下　正夫（マシタ　マサオ）

編： 吉田　政次（ヨシダ　マサジ）