物質・材料研究のための　透過電子顕微鏡

電子回折法，回折コントラスト法，高分解能観察，ＳＴＥＭ，ＥＤＳやＥＥＬＳによる元素分析，ローレンツ電子顕微鏡といった手法はもちろん，装置や試料作製法についても詳細に解説。ＴＥＭを活用するために必携の１冊。

Ⓒ木本　浩司／三石　和貴／三留　正則／原　徹／長井　拓郎

目次

第1章　概論
1.1　透過電子顕微鏡法の基本要素
1.2　透過電子顕微鏡法でできること
1.3　計測を始める前に確認したいこと
1.4　計測手順
1.5　透過電子顕微鏡の研究開発経緯
付録1.1　用語および略語について

第2章　ハードウエア
2.1　装置の構成と基本事項
2.2　電子銃
2.3　コンデンサーレンズ系
2.4　対物レンズ
2.5　球面収差補正装置
2.6　試料ホルダー
2.7　中間・投影レンズ系など
2.8　検出器
2.9　ソフトウエア・ネットワーク環境
2.10　真空排気系
2.11　装置設置環境および周辺装置
付録2.1　計測・解析時の注意点
付録2.2　電流軸・電圧軸・コマフリー軸　ほか

第3章　電子回折法
3.1　電子の散乱
3.2　結晶からの散乱
3.3　回折図形の取得
3.4　回折図形の解析
3.5　収束した電子線による回折図形
3.6　菊池パターン
付録3.1　ブラベーの空間格子　ほか

第4章　回折コントラスト像
4.1　回折コントラスト像の概要
4.2　回折強度変化のしくみ
4.3　回折波と透過波の強度のふるまい
4.4　分散面
4.5　吸収の効果
4.6　回折コントラスト像の取得

第5章　高分解能透過電子顕微鏡像観察
5.1　位相コントラスト
5.2　高分解能像シミュレーション
付録5.1　キルヒホッフの積分定理とホイヘンス・フレネルの原理
付録5.2　フラウンホーファー回折とフレネル回折　ほか

第6章　走査透過電子顕微鏡法
6.1　走査透過電子顕微鏡法とは
6.2　それぞれのSTEM像の観察手法
6.3　空間分解能を決定する因子
6.4　装置と基本操作
6.5　観察例
付録6.1　計測・解析時の注意点　ほか

第7章　エネルギー分散型X線分光法
7.1　電子顕微鏡におけるX線分光分析
7.2　X線の発生
7.3　X線の検出
7.4　スペクトルの解析
7.5　半導体検出器とは異なる原理の検出器
7.6　STEM-EDS分析の応用
付録7.1　バルク試料のX線定量分析の際の補正項について　ほか

第8章　電子エネルギー損失分光法
8.1　電子エネルギー損失分光法とは
8.2　TEM-EELSの原理
8.3　TEM-EELSのハードウエアとソフトウエア
8.4　弾性散乱電子を中心とした計測法
8.5　元素分析
8.6　化学結合状態の分析
付録8.1　計測・解析時の注意点　ほか

第9章　ローレンツ顕微鏡法
9.1　ローレンツ顕微鏡法とは
9.2　ローレンツ顕微鏡法の理論―磁場による電子線の偏向と結像原理
9.3　ハードウエアと磁区観察方法
9.4　強度輸送方程式法による磁化分布解析
9.5　観察例
9.6　ローレンツ顕微鏡法の新たな展開
付録9.1　計測・解析時の注意点

第10章　試料作製
10.1　試料作製の考え方
10.2　各種試料作製法

書誌情報

紙版

• 発売日: 2020年07月31日
• ISBN: 9784065203866
• 判型: A5
• 価格: 定価：5,500円（本体5,000円）
• ページ数: 400ページ

電子版

• 発売日: 2020年08月28日
• JDCN: 06A0000000000239610F

著者紹介

著： 木本　浩司（キモト　コウジ）

物質・材料研究機構　先端材料解析研究拠点　電子顕微鏡グループ　グループリーダー／副拠点長

著： 三石　和貴（ミツイシ　カズタカ）

物質・材料研究機構　先端材料解析研究拠点　実働環境計測技術開発グループ　グループリーダー

著： 三留　正則（ミトメ　マサノリ）

物質・材料研究機構　技術開発・共用部門　ナノテクノロジープラットフォームセンター　副センター長

著： 原　徹（ハラ　トオル）

物質・材料研究機構　技術開発・共用部門　構造材料解析ステーション　ステーション長　

著： 長井　拓郎（ナガイ　タクロウ）

物質・材料研究機構　技術開発・共用部門　構造材料解析ステーション　高分解能グループ　主幹エンジニア